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Membranvakuumpumpen als Turbo‐Vorpumpen

Moderne Turbopumpen mit integrierter Molekularpumpstufe können mit einem Vorvakuum im mbar‐Bereich betrieben werden. Als Vorpumpe können daher vorteilhaft ölfreie Membranvakuumpumpen eingesetzt werden. Große Fortschritte bei der Membrantechnologie durch den Einsatz optimierter Flachmembrane sowie durch elektronisch gesteuerte Antriebssysteme machen Membranpumpen noch kompakter, leistungsfähiger und zuverlässiger. Über fünf Jahre laufende Dauertests an Membranvakuumpumpen mit kontinuierlicher Endvakuummessung zeigen Membranlebensdauern von über 40.000 Stunden, und dies bei konstant sehr gutem Endvakuum. Insbesondere bei drehzahlgeregelten Systemen sind damit Wartungsintervalle ähnlich denen von Turbopumpen mittlerweile realisierbar.Diaphragm Vacuum Pumps for Backing Turbo PumpsState‐of‐the‐art turbo pumps with integrated molecular drag stage can be operated with forevacuum levels in the mbar range. Therefore oilfree diaphragm vacuum pumps can be used for backing. Advances of diaphragm technology and electronic drives for speed variable operation make diaphragm pumps even more compact, powerful and reliable. Long term tests running for more than five years indicate a diaphragm lifetime in excess of 40,000 hours and an excellent ultimate vacuum over the full operating time. Especially with variable speed drive systems maintenance intervals similar to turbo molecular pumps are now reachable.

Authors:   Dirscherl, Jürgen
Journal:   Vakuum in Forschung und Praxis
Volume:   22
edition:   3
Year:   2010
Pages:   11
DOI:   10.1002/vipr.201000417
Publication date:   01-May-2010
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