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Generation of UHV with Turbomolecular Pump and Dry Backing Pump

Summary

For the generation of ultra‐high vacuum (UHV), multiple pumps and pump combinations are possible. In the past, due to its high compression ratio, the most commonly used backing pump was the oil‐sealed rotary vane pump. But the growing demand for hydrocarbon‐free vacuum makes other solutions necessary: A completely magnetically levitated turbomolecular pump combined with a dry multistage Roots pump is not only able to generate oil‐free UHV pressure but also eliminates contamination due to operating error. Residual gas analyses prove that with this pump combination, the limiting partial pressure of hydrogen can be significantly reduced.

Zusammenfassung

Präparation von UHV mittels Turbomolekular‐ und trockenlaufender Vorvakuumpumpen – Die Lösung für kohlenwasserstofffreies Vakuum

Für die Erzeugung von Ultrahochvakuum (UHV) gibt es eine Vielzahl von Pumpen und Pumpkombinationen. Aufgrund ihrer hohen Kompression wurden in der Vergangenheit im Allgemeinen ölgedichtete Drehschieberpumpen verwendet. Die steigende Nachfrage nach kohlenwasserstofffreiem Vakuum macht jedoch andere Lösungen notwendig: Eine vollmagnetisch gelagerte Turbopumpe mit hoher Kompression kann im Zusammenspiel mit einer mehrstufigen Wälzkolbenpumpe nicht nur Drücke im niedrigen UHV‐Bereich ölfrei erzeugen, diese Kombination schließt auch Kontamination durch Fehlbedienung aus. Der limitierende Wasserstoffpartialdruck wird mit dieser Pumpenkombination wirkungsvoll reduziert. Entsprechende Restgasanalysen belegen dies.

Authors:   Andreas Schopphoff, Falk Braunschweig
Journal:   Vakuum in Forschung und Praxis
Volume:   29
edition:   5
Year:   2017
Pages:   22
DOI:   10.1002/vipr.201700659
Publication date:   04-Oct-2017
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