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Anforderungen an Metalloxid‐Schichten für Interferenzoptik

Die Anforderungen an PVd-Metalloxidschichten sind hoch und nehmen mit komplexen Schichten-Designs und Ausdehnung des spektralen Anwendungsbereiches weiter zu. Moderne reaktive, oftmals hybride Ionen- und Plasma-Prozesstechnologien, kontinuierlich arbeitend oder in gepulsten Moden, erzielen hervorragende optische und mechanische Schichtqualitäten. Charakteristische Daten wichtiger Prozesse sind tabellarisch angegeben.

Authors:   Pulker, Hans Karl
Journal:   Vakuum in Forschung und Praxis
Volume:   22
edition:   2
Year:   2010
Pages:   29
DOI:   10.1002/vipr.201000413
Publication date:   01-Apr-2010
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