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Conductance of slot channels formed by cylindrical walls

Abstract

Gas flow through channels formed by cylindrical walls in molecular gas flow regime is considered in this work. Ex‐ perimentally obtained conductance of three types of channels in a wide pressure range is presented. Conductance in molecular flow regime is specified. Test particle Monte Carlo (TPMC) method is used for calculation of probability of molecule transition through channels formed by cylindrical walls when wall's radii and clearances vary. Generalization of calculated values is carried out, and a uniform formula for three types of channels is given. It can be used for gas flow in vacuum systems and oil‐free pumps such as scroll pumps and Roots pumps.

Leitwert von Schlitzkanälen mit zylindrischen Wänden bei molekularer Gastströmung

Die molekulare Strömung von Gas durch schmale, von zylindrischen Wänden begrenzte Kanäle wird betrachtet. Experimentelle Untersuchungen von Leitfähigkeiten dreier Kanaltypen über weite Druckbereiche werden vorgestellt. Durch Monte‐Carlo‐Algorithmen werden die Wahrscheinlichkeit des Durchganges der Moleküle bei der Veränderung der Wandradien und des Spielraums zwischen den Wänden berechnet. Die Verallgemeinerung der Rechendaten liefert eine einheitliche Formel für drei Kanaltypen. Sie kann zur Berechnung von Gasströmen in Vakuumsystemen und in verschiedenen öl‐losen Pumpen herangezogen werden.

Authors:   Sergey Salikeev, Aleksey Burmistrov, Mikhail Bronshtein, Marina Fomina
Journal:   Vakuum in Forschung und Praxis
Volume:   25
edition:   4
Year:   2013
Pages:   34
DOI:   10.1002/vipr.201300531
Publication date:   06-Aug-2013
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