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Membranvakuumpumpen als Turbo‐Vorpumpen

01-May-2010 | Dirscherl, Jürgen, Vakuum in Forschung und Praxis, 2010

Moderne Turbopumpen mit integrierter Molekularpumpstufe können mit einem Vorvakuum im mbar‐Bereich betrieben werden. Als Vorpumpe können daher vorteilhaft ölfreie Membranvakuumpumpen eingesetzt werden. Große Fortschritte bei der Membrantechnologie durch den Einsatz optimierter Flachmembrane sowie ...


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