Un spectromètre de masse à triple filtre de paillasse conçu pour le monitoring des gaz et vapeurs

En version standard, le système d'analyse de gaz Hiden HPR-20 R&D est configuré pour des analyses en continu des gaz et des vapeurs à des pressions proches de l'atmosphère, avec une plage de masse de 200 uma. Des systèmes alternatifs sont également disponibles pour les applications nécessitant un échantillonnage jusqu'à 30 bar. L'interface d'échantillonnage à revêtement quartz QIC fonctionne jusqu'à 200°C offrant des temps de réponse de moins de 300 ms pour la plupart des gaz et vapeurs.

Le système comprend un spectromètre de masse à triple filtre, ce qui est recommandé pour les applications nécessitant une sensibilité d'abondance optimale et/ou des analyses d'espèces corrosives ou condensables. La limite de détection est de 5ppb selon des interférences spectrales, y compris la configuration optimisée de la source d'ions.

Une pompe à spirale sèche assure un pompage primaire très performant du by-pass d'échantillon et de l'UHV, pour garantir une performance optimale des applications ayant une concentration importante de gaz légers.