HPR-20 R&D

Ce système d'analyse des gaz de paillasse combine un spectromètre de masse quadripolaire à triple filtre et un capillaire inerte en quartz chauffé (QIC) pour mesurer en continu et en temps réel les gaz et vapeurs évolués à des pressions proches de l'atmosphère.

Conçu pour la recherche avancée, il offre une sensibilité élevée, une grande sélectivité et une réponse rapide pour les expériences dynamiques, notamment la catalyse et la cinétique des réactions, la spectrométrie de masse par analyse thermique (TA/MS), les études de désorption thermique, la caractérisation des procédés CVD/MOCVD/ALCVD, la surveillance de l'environnement, la surveillance des boîtes à gants, la séparation des gaz et les études de pureté.

Les principales caractéristiques de performance sont les suivantes

• Spectromètre de masse à triple filtre offrant une meilleure résolution et une sensibilité accrue à l'abondance ; détection jusqu'à 5 ppb (sous réserve d'interférences spectrales).
• Échantillonnage QIC pour l'analyse en continu des gaz et des vapeurs ; capillaire flexible de 2 m fonctionnant jusqu'à 200°C pour minimiser les effets de condensation et de mémoire ; temps de réponse <300 ms (pour les gaz et les vapeurs les plus courants).
• Gamme de masse 200 amu, avec des options pour 300 et 500 (ou 510, selon la configuration) et 1000 amu
• Ionisation par impact d'électrons ; configuration à double détecteur (Faraday et multiplicateur d'électrons secondaires) pour une large gamme dynamique.
• Capacité d'ionisation douce par ajustement de l'énergie d'ionisation pour simplifier les mélanges complexes de gaz/vapeurs : 4 à 150 eV par pas de 0,1 eV (70 eV en fonctionnement standard)

Les options d'entrée d'échantillonnage permettent un fonctionnement au-dessus et au-dessous de la pression atmosphérique, y compris des entrées haute pression jusqu'à 30 bars et des capillaires dédiés jusqu'à 1 mbar. Les sélecteurs multi-flux sont disponibles en versions 2, 8, 16, 20, 40 et 80 voies.

Le résultat est une plate-forme de R&D flexible pour une analyse fiable, quantitative et résolue dans le temps des gaz et des vapeurs en laboratoire et à l'échelle pilote.